德国PI P-313 PicoCubeXY（Z）压电扫描仪

德国PI P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

：PI(Physik Instrumente)
公司简介：
   德国PI公司是运动和定位领域的解决方案供应商。
   PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

规格 P-313PicoCubeXY(Z)压电扫描仪 单位

运动和定位

主动轴  X、Y、Z   

X、Y向上的行程（±250伏） 1 微米

Z向上的行程（±250伏） 0.6 微米

X、Y向上的分辨率 0.02 纳米

Z向上的分辨率 0.14 纳米

机械特性

X、Y向上的谐振频率 4 千赫兹

Z向上的谐振频率 11 千赫兹

运动方向上的推/拉力 ±10 牛

负载容量 ±10 牛

其他 工作温度范围 5 到 40 °C

质量 80 克

电缆长度 1.5 米

电压连接 Sub-D 24W7（公头）

推荐电控 E-536

订购信息

P-313.30L 高线性 PicoCube XYZ向纳米定位器和扫描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，开环，LEMO连接器

P-313.30D 高线性 PicoCube XYZ向纳米定位器和扫描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，开环，Sub-D连接器

德国PI P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪