德国PI PicoCube XY（Z）压电扫描仪

德国PI PicoCube XY(Z)压电扫描仪

：PI(Physik Instrumente)
公司简介：
   德国PI公司是运动和定位领域的解决方案供应商。
   PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

产品应用领域：
半导体制造
医学工程
生物技术
工厂工程
表面计量
天文学

X、Y向上的串扰（Z向运动） 5    -    纳米

机械特性

 X、Y向上的空载谐振频率   3.1    4.2   千赫兹

Z向上的空载谐振频率 9.8 - 千赫兹

带负载时X、Y向上的谐振频率 1.5 (20 克) 2.1 (20 克) 千赫兹

负载容量 10 10 牛

陶瓷类型 PICA, PICA Shear PICA Shear

其他 工作温度范围 -20 到 80 -20 到 80 °C

材料 钛金属 钛金属

尺寸 30 毫米 × 30 毫米 × 40 毫米

30 毫米 × 30 毫米 × 28 毫米

质量 225 190 克

电缆长度 1.5 1.5 米

传感器/电压连接 Sub-D24W7（公头） Sub-D24W7（公头）

推荐电控 E-536 E-536

订购信息

P-363.2CD PicoCube高精度XY向纳米定位系统，5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，Sub-D连接器

P-363.2CL PicoCube高精度XY向纳米定位系统，5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，LEMO连接器

德国PI PicoCube XY(Z)压电扫描仪