PI PicoCube XY（Z）压电扫描仪-北京汉达森

PI PicoCube XY(Z)压电扫描仪-北京汉达森

：PI(Physik Instrumente)
公司简介：
   德国PI公司是运动和定位领域的解决方案供应商。
   PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

产品应用领域：
半导体制造
医学工程
生物技术
工厂工程
表面计量
天文学

订购信息：

P-363.2CD PicoCube高精度XY向纳米定位系统，5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，Sub-D连接器

P-363.2CL PicoCube高精度XY向纳米定位系统，5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，LEMO连接器

应用领域

§ 扫描探针显微镜

§ 原子力显微镜

§ 扫描和筛选

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对chong击和振动不敏感。 它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的SubD连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动 导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可 实现极低的排气率。

PI PicoCube XY(Z)压电扫描仪-北京汉达森