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PI-P-915KWEF压电六足位移台
:PI(Physik Instrumente)
公司简介:
德国PI公司是运动和定位领域的全球解决方案供应商。
PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器,用于线性,旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。
· 负载能力高达1500克
· 位移为1纳米/0.07微弧度
· 行程范围达70微米
· 电容式传感器可实现动态扫描和精密定位
六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性,动态范围更大,无移动电缆:更稳定、摩擦更小。
带高刚性和高谐振频率的压电陶瓷促动器直接驱动器可实现动态定位。
大功率实时数字式控制器控制驱动轴
具有亚纳米精度、大带宽和高稳定性的直接、绝dui位置测量
转台轴向振摆、同心度和平稳度的动态优化。防振,精调
Order Information
P-915KWEF Piezo Hexapod for Active and Dynamic Correction of Angular Errors of Rotation Stages
PI-P-915KWEF压电六足位移台