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Physik Instrumente高精度纳米定位平台
应用领域
§ 扫描显微镜
§ 测量技术
§ 测试程序和质量保证
§ 光子
§ 光纤定位
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对chong击和振动不敏感。 它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的SubD连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
直接位置测量带来精度
运动直接在运动平台上测量,*不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现jia的重复精度、优异的稳定性和刚性 、快速响应控制。
订购信息
P-752.21C 高动态压电陶瓷纳米定位系统,30微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-752.2CD 高动态压电陶瓷纳米定位系统,30微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
Physik Instrumente高精度纳米定位平台