PIEZOCONCEPT三轴超高速纳米定位器的规格

piezoconcept-PM3LR级的Z部分可以具有高达50μm的行程范围，并提供市场上非常高的速度能力（高达12.5kHz谐振频率）。专为原子力显微镜等要求苛刻的计量应用而设计。包括控制器（USB 可选）。

piezoconcept SPM3LR平台是一个3轴纳米定位器，沿X和Y提供100μm，200μm或300μm的行程范围.SPM3LR平台的Z部分可以具有高达50μm的行程范围，并提供市场上非常高的速度能力，非常大谐振频率为12.5kHz

。SPM3LR.xxx.05 在 Z 轴上的阶跃响应时间可以小于一毫秒。

因此，SPM3LR载物台特别适用于原子力显微镜等要求苛刻的计量应用。

XY规格

Z 规格

PIEZOCONCEPT三轴超高速纳米定位器的规格