Physik Instrumente压电陶瓷纳米定位器

Physik Instrumente压电陶瓷纳米定位器

：PI (Physik Instrumente)
公司简介：
   德国PI公司是运动和定位领域的解决方案供应商。
   PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器

·         X和Y向上的行程达100微米×100微米

·         电容式传感器使分辨率达0.1纳米

·         带直接驱动器的高速版本

·         可提供真空兼容和非磁性版本

·         并联运动实现更高精度和动态

·         导向误差主动补偿的并行计量

·         零间隙，高精度柔性铰链导向系统

·         50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用

Physik Instrumente压电陶瓷纳米定位器

应用领域

·         扫描显微镜

·         共聚焦显微镜

·         掩模/晶圆定位

·         表面测量技术

·         纳米压印

·         显微操纵

·         图像处理/稳定

·         高运动平面度和直线度的纳米定位

订购信息

带直接驱动器

P-733.2DD 高动态精密XY向纳米定位系统，30 微米 × 30 微米，直接驱动，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

带Sub-D连接器（公头）的版本

P-733.2CD 精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器