PI（Physik Instrumente）纳米定位器

PI(Physik Instrumente)纳米定位器

：PI(Physik Instrumente)
公司简介：
   德国PI公司是运动和定位领域的解决方案供应商。
   PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或

提供用于运动和定位的成品子系统。

产品应用领域：
半导体制造
医学工程
生物技术
工厂工程
表面计量
天文学

P-733.AP1 接装板用于将P-733 压电工作台安装在M-545 XY位移平台上 线性定位器，真空兼容达10-9百帕

P-733.2VL 精密XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器，真空兼容至10-6百帕

PI(Physik Instrumente)纳米定位器

·         X和Y向上的行程达100微米×100微米

·         电容式传感器使分辨率达0.1纳米

·         带直接驱动器的高速版本

·         可提供真空兼容和非磁性版本

·         并联运动实现更高精度和动态

·         导向误差主动补偿的并行计量

·         零间隙，高精度柔性铰链导向系统

·         50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用

PI(Physik Instrumente)纳米定位器