德国PI（Physik Instrumente）定位器价格

德国PI(Physik Instrumente)定位器价格

P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器

·         X和Y向上的行程达100微米×100微米

·         电容式传感器使分辨率达0.1纳米

·         带直接驱动器的高速版本

·         可提供真空兼容和非磁性版本

·         并联运动实现更高精度和动态

·         导向误差主动补偿的并行计量

·         零间隙，高精度柔性铰链导向系统

·         50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用

订购信息：

P-733.2VD 精密XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2UD 精密XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕

德国PI(Physik Instrumente)定位器价格

应用领域

·         扫描显微镜

·         共聚焦显微镜

·         掩模/晶圆定位

·         表面测量技术

·         纳米压印

·         显微操纵

·         图像处理/稳定

·         高运动平面度和直线度的纳米定位

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对击和振动不敏感。它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

德国PI(Physik Instrumente)定位器价格