PI（Physik Instrumente）定位器

PI(Physik Instrumente)定位器

P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器

·         X和Y向上的行程达100微米×100微米

·         电容式传感器使分辨率达0.1纳米

·         带直接驱动器的高速版本

·         可提供真空兼容和非磁性版本

·         并联运动实现更高精度和动态

·         导向误差主动补偿的并行计量

·         零间隙，高精度柔性铰链导向系统

·         50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用

PI(Physik Instrumente)定位器

应用领域

·         扫描显微镜

·         共聚焦显微镜

·         掩模/晶圆定位

·         表面测量技术

·         纳米压印

·         显微操纵

·         图像处理/稳定

·         高运动平面度和直线度的纳米定位

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

PI(Physik Instrumente)定位器