P-611.3 NanoCubeXYZ压电陶瓷系统

P-611.3 NanoCubeXYZ压电陶瓷系统

用于纳米级定位和光纤校准的紧凑型多轴压电系统

·         行程达120 微米×120 微米×120 微米

·         超紧凑型：44 毫米 × 44 毫米 × 44 毫米

·         分辨率达0.2纳米

·         快速响应行为

·         零间隙，高精度柔性铰链导向系统

·         PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

·         用于快速扫描

·         带集成式光纤夹持器的版本

·         极其经济实惠的系统

应用领域

·         光子学/集成光学

·         显微操纵

·         生物技术

·         半导体测试

·         光纤定位

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对chong击和振动不敏感。它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

应用领域

光子学/集成光学

显微操纵

生物技术

半导体测试

光纤定位

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对chong击和振动不敏感。它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

规格

         P-611.3S P-611.3SF       P-611.3O P-611.3OF    单位     公差

主动轴      X、Y、Z                    X、Y、Z

运动和定位

集成传感器 应变片传感器

-20至120 伏时的开环行程   120/轴    120/轴  微米   +20 % / -0 %

重复精度

X、Y向上的螺距   ±5                  ±5            微弧度    典型值

θX向上的倾斜（Z向运动）    ±10      ±10            微弧度    典型值

X向上的偏转角         ±20           ±20            微弧度    典型值

Y向上的偏转角         ±10           ±10            微弧度   典型值

θY向上的倾斜（Z向运动） ±10         ±10           微弧度    典型值

机械特性

刚度           0.3      0.3 牛/微米 ±20 %

X / Y / Z向上的空载谐振频率 350 / 220 / 250      350 / 220 / 250   赫兹  ±20 %

带30克负载时X/Y/Z向上的谐振频率 270 / 185 / 230    270 / 185 / 230 赫兹 ±20 %

带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率 180 / 135 / 200   180 / 135 / 200 赫兹 ±20 %

运动方向上的推/拉力 15 / 10     15 / 10 牛 大

负载容量   15    15 牛 大

驱动特性

陶瓷类型 PICMAP-885 PICMAP-885

电容 1.5   1.5 微法 ±20 %

其他 工作温度范围 -20 到 80    -20 到 80 °C  

材料    铝、钢     铝、钢

尺寸 S版本： 48 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米

SF版本： 44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米

O版本： 44 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米

OF版本： 44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米

质量 0.32 0.32 千克 ±5 %

电缆长度 1.5 1.5 米 ±10 毫米

电压连接 Sub-D25针（公头） Sub-D25针（公头）

传感器连接 Sub-D25针（公头） –

推荐电控 E-503、E-505、E-663、E- 664、E-727 E-503、E-505、E-663、E- 664、E-727

订购信息

P-611.3S NanoCube XYZ向纳米定位系统，100微米 × 100微米 × 100微米，应变片传感器 P-611.3O NanoCube XYZ向纳米定位系统，100微米 × 100微米 × 100微米，不带传感器 P-611.3SF NanoCube XYZ向纳米定位系统，100微米 × 100微米 × 100微米，应变片传感器，集成式光纤夹持器

P-611.3OF NanoCube XYZ向纳米定位系统，100微米 × 100微米 × 100微米，不带传感器，集成式光纤夹持器

P-611.3 NanoCubeXYZ压电陶瓷系统