PI P-616.3C纳米定位器-北京汉达森

PI P-616.3C纳米定位器-北京汉达森

用于纳米级定位和光纤校准的紧凑型并联运动压电系统

产品描述：

并联运动设计可在所有空间方向上实现gao刚性

即使负载高达100克，高谐振频率也能实现高动态运动

单个安装平台的型产品设计可实现灵活使用

市场上的带ID芯片功能的纳米定位器

市场上行程为100 微米的小、轻的NanoCube

应用领域

·         光纤定位和对准

·         扫描显微镜

·         双光子聚合

·         纳米技术和纳米制造

·         光子学/集成光学

·         显微操纵

·         样本定位

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对chong击和振动不敏感。它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动态和精密的运动。

规格

运动和定位

主动轴 X、Y、Z

-20至120伏时的开环行程 110/轴 微米 +20 % / -0 %

行程，闭环 100/轴 微米 +20 % / -0 %

分辨率，1Ò，开环 0.3 纳米 典型值

分辨率，1Ò，闭环 0.4 纳米 典型值

线性误差 0.03 % 典型值

双向重复精度，1Ò，10%行程范围内

传感器 传感器类型 电容式传感器

机械特性 刚度 0.5 牛/微米 ±10 %

X / Y / Z向上的空载谐振频率 700 赫兹 ±10 %

带38克负载的谐振频率 X / Y / Z 380 赫兹 ±20 %

带100克负载的谐振频率 X / Y / Z 250 赫兹 ±20 %

推/拉力大小 15 牛 大

大允许转矩 0.4 牛米 大

推荐大负载 300 克 大

驱动特性

陶瓷类型 PICMAP-885.50

电容 1.5/轴 微法 ±20 %

其他 工作温度范围 -20 到 80 °C

材料 铝、钢

尺寸 40 × 40 × 40 毫米

移动质量（无负载） 0.021 千克

不含电缆的质量 0.125 千克

包含电缆在内的质量 0.4 千克

电缆长度 1.5 米 ±10 毫米

连接 Sub-D25W3（公头）

推荐电控 E-503、E-663、E-712、E-727

PI P-616.3C纳米定位器-北京汉达森