Physik Instrumente (PI)线性平台

U-523PILine®线性平台

特点：

快速定位

省空间和重量

导向精度高

传感器分辨率高达10 nm

自锁，静止时不发热

低噪音运行

精密级线性定位平台

PILine®工作台特别适合需要快速精确定位的应用。关闭时，自锁驱动器会保持平台在机械上稳定的位置。因此，能量消耗和热量产生显着减少。这些特性使电池供电或对热敏感的低占空比应用受益。轴的位置由编码器测量，光学参考开关可实现可靠的可重复运动。压电驱动原理及其电气操作成本低廉，可以定制。

使用增量编码器进行高精度位置测量

非接触式光学编码器可以高精度直接在平台上测量位置。非线性，机械游隙或弹性变形对测量没有影响。

PILine®超声波压电马达

PILine®超声波压电电机的组成部分是压电致动器，该压电致动器通过一个耦合元件预加载在可移动的导向流道上。压电陶瓷执行器被100至200 kHz之间的高频AC电压激励而产生超声振荡。致动器的变形导致联接元件相对于转轮周期性的对角运动。每个周期产生的进料为几纳米。高频导致高速。将压电陶瓷执行器预紧抵在转轮上，可在静止和关闭时确保驱动器自锁。

应用领域

显微操作，自动化，生物技术，样品处理，样品定位，空间有限的应用，10 ^-6hPa的真空应用（可选）。

Q-521 Q‑Motion®微型线性平台

特点：

宽度仅21毫米，高度仅10毫米

带有集成增量编码器的直接位置测量

编码器分辨率高达1 nm

小增量运动可达2 nm

带转接板或支架的多轴系统设置（可选）

可根据要求提供 10 ^-6 hPa的真空版本

压电惯性驱动

压电惯性驱动器是节省空间且价格合理的基于压电的驱动器，具有相对较高的夹持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该压电致动器由特殊驱动器电子设备提供的修改后的锯齿电压进行控制。执行器缓慢膨胀并移动流道。由于其惯性，转轮无法跟随执行器的后续快速收缩，并保持在其位置。驱动器的高工作频率为20 kHz，直接作用在转轮上并达到大速度。6毫米/秒

真空

 可根据要求提供10 ^-6 hPa的真空版本。

直接测量原理

线性位移台配有非接触式测量光学线性编码器和参考开关。分辨率为4 nm或1 nm，具体取决于版本。 

应用领域

微型装配，光子学，光学对准，显微镜，光束线仪器，半导体技术，测试

H-811.F2 6轴微型六脚架

特点：

行程范围为±17毫米/±21°

设计紧凑

可移动磁性板

高动态和高精度

可自由编程的虚拟枢轴点

的使用寿命

六自由度的并联运动学设计使其比串联运动学系统更加紧凑和坚固，动态范围更大，电缆没有移动：更高的可靠性，减少了摩擦

无刷直流电机（BLDC）

无刷直流电动机特别适合于高转速。可以非常精确地控制它们并确保高精度。由于无需滑动触点，因此它们运行平稳，无磨损，因此使用寿命长。

应用领域

研究和工业，微制造，光纤对准和光学组件的对准。

广泛的软件包

供货范围内提供的软件包允许将系统集成到几乎所有环境中。支持所有常见的操作系统，例如Windows，Linux和macOS，以及许多常见的编程语言，包括Python，MATLAB和NI LabVIEW。得益于复杂的程序示例和软件工具（如PIMikroMove）的使用，开始集成和生产操作之间的时间大大缩短了。

可移动磁性板

加快您的工作流程。下一个工件可以平行于我们的自动化处理步骤进行准备。可拆卸磁性板无需工具即可快速拆卸，然后每次都可以准确地重新组装。

PI P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ纳米定位器

特点：

紧凑：表面44毫米×44毫米

行程范围为120 µm×120 µm

分辨率至0.2 nm

特别便宜的系统（机械和控制器）

零间隙，高精度挠曲导向系统

PICMA®压电执行器，使用寿命长

也提供线性和Z载物台，以及XYZ版本

应用领域：

干涉仪

显微镜检查

纳米定位

生物技术

测试程序和质量保证

光子学

光纤定位

半导体技术

零游隙挠性导轨，导向精度高

挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可以在宽温度范围内工作。

PICMA®压电执行器，使用寿命长

获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明，没有单一故障的1000亿次循环。

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