SPS(POLOS)旋涂机的工作原理

     我们的POLOS®单晶圆旋涂机有NPP或PTFE两种材质。这些高质量的旋涂机专为MEMS，半导体，生命科学，PV，微流体等领域的研发和小批量生产而设计。适用于所有典型的旋转工艺：清洁、漂洗/干燥、涂层、显影、载玻片和蚀刻。

POLOS SPIN150i NPP

通过大型彩色触摸屏进行简单的分步配方编程

带注射器支架的透明盖子，用于中央分配

高加速度和高精度

手动化学品分配

产品编号41096

材料天然聚丙烯

基板尺寸Ø150 mm 或 4“ x 4" 方形基板

产品描述

      POLOS SPIN150i是一款多功能的高质量基材旋涂机，由PTFE或NPP制成。它专为研发和小批量生产而设计。用于手动或自动（可选）化学品分配的桌面版本。

适用于涂布、清洗、漂洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI等工艺

规格：

高达 6“ （150 mm） 晶圆

高达 4“ x 4" （100 mm） 方形基板

材料：天然聚丙烯（NPP）

通过大型彩色触摸屏进行简单的分步配方编程

产品特点

1．电机励磁和电枢分开供电。励磁用12伏直流稳压电源供电，电枢用运放控制IRF830调速，它比可控硅调速优越，故其转速在500—8000转/分范围内非常稳定。

2．本匀胶机有两档转速。在启动之后，先以低速运转，然后自动变到高速运转。两档速度及运行时间分别可调。

3．本匀胶机采用光电检测，数字电路测速，对电机的转速检测快速准确。电机稳速方面采用了光电隔离的精密负反馈电路，使整机在高达8000RPM以上转速时仍十分稳定，有力的保证了匀胶质量。

4．“吸片"采用电子开关控制电磁阀完成气路通断，这样适合流水线工艺，一个气泵可同时带几台匀胶机工作，提高效率。

5．匀胶机定时采用可调定时电路控制，面板上调节Timer旋钮即可改变匀胶时间。

6．在安装结构上，采取了减震措施，因而匀胶机在运转时噪音很低。

7．电磁阀与电机运行有连锁功能，电磁阀未动作不能启动电机运行，本次匀胶电机未停不能进行下次匀胶，若运行中误按“CONTROL"键也不能停止吸气，即不会产生跑片。

由于采用了以上一系列措施，故本机具有很高的转速稳定性和快速启动性，可以保证涂覆表面均匀，并可通过调节转速调节涂覆厚度。

POLOS 300 高级单基板旋转处理器，台式机版本或集成商型号，自动化学品分配，重型电机。这种革命性的旋涂机系列可用作您工艺的全自动解决方案。由于采用天然聚丙烯和 PTFE 制成的全塑料外壳，它支持多种流体。它适用于处理小至 5 mm 的碎片，甚至适用于处理小至 5 mm 的碎片。

适用于涂布、清洗、漂洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 和其他工艺

SPS(POLOS)旋涂机的工作原理