Bdiscom等离子体发生器的关键组成部分

等离子体发生器概述

Bdiscom等离子体发生器是一种将气体电离产生等离子体的设备。等离子体是物质的第四态，由离子、电子和中性粒子组成，具有高能量和活性，广泛应用于工业、科研和医疗领域。

Bdiscom等离子体发生器的关键组成部分

1. 电源：

• 提供高频或高压电能，用于电离气体。

2. 电极：

• 用于产生电场，使气体电离。

3. 气体供应系统：

• 提供工作气体（如氩气、氮气、氧气等）。

4. 控制系统：

• 调节功率、频率和气体流量，以控制等离子体的特性。

等离子体发生器的工作原理

1. 气体被引入反应室。

2. 电源提供高频或高压电能，通过电极产生强电场。

3. 气体分子在电场中被电离，形成等离子体。

4. 等离子体被引导到目标区域，用于特定应用。

等离子体发生器的应用

1. 工业领域：

• 表面处理：清洁、活化和涂层（如提高材料表面的附着力）。

• 半导体制造：用于刻蚀和沉积工艺。

• 废气处理：分解有害气体和污染物。

2. 科研领域：

• 等离子体物理研究：研究等离子体的性质和行为。

• 材料科学：开发新型材料和涂层。

3. 医疗领域：

• 医疗器械消毒：利用等离子体杀灭细菌和病毒。

• 伤口处理：促进伤口愈合。

4. 能源领域：

• 核聚变研究：用于可控核聚变实验。

• 等离子体推进：用于航天器的推进系统。

       Bdiscom的BDS-MF 是一款 40 kHz 等离子体发生器，最大输出功率为 5、10 或 15 kW，专为 PECVD 或等离子体清洗应用上的等离子体激发而设计。该装置能够在 7000V RMS 输出下提供高达 10kW 的功率。

输出为平衡型，能够驱动 2 个对称电极。典型应用是大型工艺腔室上的 PE-CVD 工艺。一个功能是高压匹配变压器内置 2 个（标准）或 3 个（根据要求）变压器抽头作为阻抗匹配。

用户只需将两根同轴电缆连接到电极上。与用户 PLC 的接口可以是模拟或数字 RS232 或 Profibus（根据要求）。